特許

J-GLOBAL ID：200903089495227622

静電アクチュエータ

発明者： 田中 猛 ,  菊田 知之
出願人/特許権者： アスモ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-339752
公開番号（公開出願番号）：特開平8-186989
出願日： 1994年12月29日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】 静電アクチュエータにおける移動子及び固定子の製造コストの低減。【構成】 複数の駆動用電極17a〜17cを配設した固定子11と、複数の駆動用電極20a〜20cを配設した移動子12とを備え、移動子の駆動用電極と固定子の駆動用電極の間に生じる静電気による吸引力、反発力により移動子を固定子に対して駆動する。固定子及び移動子は、基板21の一方の面21dに間隔をあけて帯状の駆動用電極を複数個設けると共に、基板の他方の面21eに駆動用電極と交差するように帯状の接続用電極22a〜22bを複数個設け、基板を一方の面から他方に面に貫通するように設けた貫通孔21fに導電部材24を配置して、駆動用電極と接続用電極を接続している。

請求項（抜粋）：

複数の駆動用電極を配設した固定子と、複数の駆動用電極を配設し、上記固定子と対向して配置される移動子とを備え、上記固定子の駆動用電極と移動子の駆動用電極のいずれか一方に極性を固定して電圧を印加すると共に、いずれか他方に極性を切り替えて電圧を印加し、移動子の駆動用電極と固定子の駆動用電極の間に生じる静電気による吸引力、反発力により移動子を固定子に対して駆動する構成とした静電アクチュエータであって、上記固定子及び移動子は、基板の一方の面に間隔をあけて帯状の駆動用電極を複数個設けると共に、基板の他方の面に駆動用電極と交差するように帯状の接続用電極を複数個設け、基板を一方の面から他方に面に貫通するように設けた貫通孔に導電部材を配置して、駆動用電極と接続用電極を接続する構成としていることを特徴とする静電アクチュエータ。