特許
J-GLOBAL ID:200903089503750259

連続処理ラインにおける鋼板の滲珪処理方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 苫米地 正敏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-090207
公開番号(公開出願番号):特開平5-263247
出願日: 1992年03月16日
公開日(公表日): 1993年10月12日
要約:
【要約】【目的】 連続ラインにおける鋼板の滲珪処理をラインの長大化や蒸着膜厚の不均一化等の問題を生ぜしめることなく行うことができる方法を提供することにある。【構成】 鋼板を化学気相蒸着処理室を通過させて滲珪処理する、連続ラインにおける鋼板の滲珪処理方法において、化学気相蒸着処理室内において、吹付ノズルにより、雰囲気ガスを鋼板面の垂線に対して傾斜角5〜45°の斜め方向から吹き付けることにより、反応界面への反応ガスの供給と反応生成ガスの反応界面からの離脱を顕著に促進させる。
請求項(抜粋):
鋼板を化学気相蒸着処理室を通過させて滲珪処理する、連続ラインにおける鋼板の滲珪処理方法において、化学気相蒸着処理室内において、吹付ノズルにより、雰囲気ガスを鋼板面の垂線に対して傾斜角5〜45°の斜め方向から鋼板面に吹き付けることを特徴とする連続処理ラインにおける鋼板の滲珪処理方法。
IPC (5件):
C23C 14/56 ,  C22C 33/00 ,  C23C 10/08 ,  C23C 14/24 ,  C23C 16/42
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭63-024034

前のページに戻る