特許
J-GLOBAL ID：200903089511466586
多孔質セラミックス静圧気体軸受とその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350050
公開番号（公開出願番号）：特開平9-177783
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 多孔質セラミックスと緻密質セラミックスからなる静圧気体軸受において、多孔質セラミックス軸受面の気体封止部からの空気漏れがなく、且つ高精度の軸受面加工を可能にする多孔質セラミックス静圧気体軸受を提供する。【解決手段】 多孔質セラミックス1と緻密質セラミックス4からなる静圧気体軸受であって、軸受面に露出する多孔質セラミックス面に凹型加工部が設けられ、該凹部にガラスが充填された気体吹き出し封止部2を有し、且つ緻密セラミックス4に設けた多孔質セラミックス1のはめ込み部に形成する隙間3にガラス充填が施されたことを特徴とする静圧気体軸受である。さらには、多孔質セラミックス気体吹出し封止部2に充填するガラス層の厚さが0.1mm以上で、多孔質セラミックス1と緻密セラミックス4の隙間3に充填するガラス層の厚さが0.1mm以上であることを特徴とする静圧気体軸受である。
請求項（抜粋）：
多孔質セラミックス1と緻密質セラミックス4からなる静圧気体軸受であって、軸受面に露出する多孔質セラミックス面に凹型加工部が設けられ、該凹部にガラスが充填された気体吹き出し封止部2を有し、且つ緻密セラミックス4に設けたはめ込み部と該多孔質セラミックス1との間に形成する隙間3にガラス充填が施され、この箇所の気体漏れがなく、かつ高精度の軸受面加工を可能にしたことを特徴とするセラミックス静圧気体軸受。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16C 32/06 B
, F16C 33/24 A
