特許
J-GLOBAL ID：200903089513495656
金属プラズマ放電型X線発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-344574
公開番号（公開出願番号）：特開2001-160499
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：
【要約】【課題】 半導体リソグラフィー、ラジオグラフィー、医療診断、X線顕微鏡、X線蛍光分析、材料表面改質及び透過画像計測等を行うX線応用の産業技術、医療診断技術分野で利用できる、X線パルスの輝度、ピーク出力が高く、かつ指向性の良いX線または軟X線を形成する。【解決手段】 真空容器内の対向金属電極の片側にレーザー光を照射して金属蒸気プラズマを生成させ、それを予備電離プラズマとして大電流ピンチ放電を行いプラズマを圧縮して高密度、高温にし、プラズマから特性X線、または制動放射X線パルスを発生させることを可能とする金属プラズマ放電型X線発生装置。
請求項（抜粋）：
真空容器内の対向金属電極の片側にレーザー光を照射して金属蒸気プラズマを生成させ、それを予備電離プラズマとして大電流ピンチ放電を行いプラズマを圧縮して高密度、高温にし、プラズマから特性X線、または制動放射X線パルスを発生させることを可能とする金属プラズマ放電型X線発生装置。
Fターム (4件)：
4C092AA06
, 4C092AB21
, 4C092AC09
, 4C092BD09
