特許

J-GLOBAL ID：200903089516149554

能動制振装置、その制御方法および能動制振装置を備えた露光装置

発明者： 間山 武彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-002436
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221249
出願日： 2001年01月10日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】 半導体露光装置等の精密機器において、除振台や、それに搭載される装置、構造物に発生する剛体振動、構造共振などの振動を、安定的に、かつ迅速に制振する。【解決手段】 制振対象物である構造物6に固定されたアクチュエータを用いて慣性負荷を駆動する際に発生する駆動反力により、構造物6に制御力を加える直動制振ユニット50を備え、振動検出手段3で検出された構造物6の振動に相当する信号、構造物6の加振源となる駆動手段を備えた機器の動作状態、またはその制御手段からの信号、の少なくとも一方に対して補償演算を施して得た信号に基き、該直動制振ユニット50を制御することで、構造物6の振動を低減・抑制する。前記補償演算には、非線形演算、または非線形演算を含む演算処理を適用することができる。

請求項（抜粋）：

制振対象物に固定され、推力を発生するアクチュエータと、前記アクチュエータに接続され、前記制振対象物に対して相対的に運動する慣性負荷と、駆動指令信号に応じて前記アクチュエータを駆動する駆動回路とを有し、前記アクチュエータが発生する推力により前記慣性負荷を駆動する際に発生する駆動反力によって前記制振対象物に制御力を加えて機器の振動を低減する制振ユニットを備える能動制振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

F16F 15/02 A ,  F16F 15/02 M ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (9件)：

3J048AA07 ,  3J048AB01 ,  3J048AB07 ,  3J048AD02 ,  3J048CB19 ,  3J048DA01 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23