特許

J-GLOBAL ID：200903089521852085

光CVD装置

発明者： 渡辺 哲男
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-333967
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144750
出願日： 1991年11月21日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、保護窓を着脱自在に設けるとともに、反応室を大気に開放することなく反応室とロードロック室との間で保護窓の搬送を可能にし、保護窓の交換作業または清掃作業の簡単化かつ短時間化を図って、装置可動率の向上を図る。【構成】 成膜を行う反応室11に透光性の窓12を設け、この窓12の反応室11側にパージ室14を介して透光性の保護窓17を取り付け、窓12と保護窓17とを透過して反応室11内に光を入射する光源18を設け、反応室11にゲートバルブ20を介してロードロック室21を接続したものであって、保護窓17を着脱可能にする支持固定機31を当該反応室11内に設けるとともに、反応室11とロードロック室21との間で保護窓17を搬送する搬送機51をロードロック室21の内部に設けたものである。

請求項（抜粋）：

成膜を行う反応室と、前記反応室に設けた透光性の窓と、前記反応室側の前記窓を覆う状態にして当該反応室内に設けたパージ室と、前記窓に対向する位置の前記パージ室に設けた透光性の保護窓と、前記窓と前記保護窓とを透過して前記反応室内に光を入射する光源と、前記反応室にゲートバルブを介して接続したロードロック室とを備えた光CVD装置において、前記パージ室に対して前記保護窓を着脱可能にする支持固定機を当該反応室内に設けるとともに、前記反応室と前記ロードロック室との相互間にて前記保護窓を搬送する搬送機を、前記ロードロック室の内部に設けたことを特徴とする光CVD装置。

IPC (5件)：

H01L 21/205 ,  B25J 9/10 ,  C23C 16/48 ,  C30B 25/08 ,  H01L 21/263

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-161825
  
• 特開平1-189916
  
• 特開平2-251131
  
• 特開平1-076717