コンデンサーレンズ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-009703
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222270
出願日： 1993年01月25日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】液浸用並びに油浸用の双方に対応できる優れた性能を有するコンデンサーレンズの提供。【構成】光源側から順に、正の屈折力を持つ前群GF と正の屈折力を持つ後群GR とを有し、光源から光束を集光して試料を照明するコンデンサーレンズにおいて、前記後群GR は、最も試料側に配置されかつ光源側に凸面を向けた正の屈折力を持つ液浸用の第1レンズLa を有し、光源側に凸面を向けた正の屈折力を持つ油浸用の第2レンズLb を第1レンズLa と交換可能に設け、第1レンズLaと第2レンズLb との最適な焦点距離の範囲と、各レンズ(La ,Lb )が設定された時のコンデンサーレンズの最適な開口数の範囲を見出した。

請求項（抜粋）：

光源側から順に、正の屈折力を持つ前群GF と正の屈折力を持つ後群GR とを有し、光源から光束を集光して試料を照明するコンデンサーレンズにおいて、前記後群GR は、最も試料側に配置されかつ光源側に凸面を向けた正の屈折力を持つ液浸用の第1レンズLa を有し、該第1レンズLa は、光源側に凸面を向けた正の屈折力を持つ油浸用の第2レンズLb と交換可能に設けられ、前記コンデンサーレンズの前群GF の焦点距離をfF とし、前記第1レンズLa の焦点距離をfLa、前記第2レンズLb の焦点距離をfLb、前記第1レンズLa が設定された時のコンデンサーレンズの開口数をNAa 、前記第2レンズLbが設定された時のコンデンサーレンズの開口数をNAb とするとき、以下の条件を満足することを特徴とするコンデンサーレンズ。(1) 0.4≦fLb/fF ≦fLa/fF ≦0.7(2) 0.6≦NAa /NAb ≦1

前のページに戻る