特許

J-GLOBAL ID：200903089526823113

鏡面を有するダイヤモンド膜の製造方法

発明者： 佐藤 俊樹 ,  亀岡 誠司 ,  池田 孜
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249919
公開番号（公開出願番号）：特開平6-100398
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：

【要約】【目的】 気相合成法によって鏡面を有するダイヤモンド膜を容易に形成することができ、しかも基体を何度でも使用可能である様な、経済的な方法を提供する。【構成】 基体上に、IVa,Va,VIa族元素の炭化物,窒化物,炭窒化物、およびIb族元素並びにAl2 O3 よりなる群から選択される1種以上からなる下地コーティング層を形成すると共に、該下地コーティング層の表面粗度をRmaxで0.1μm以下とし、600°C以上で下地コーティング層上にダイヤモンド膜を成膜し、引き続き前記基体を冷却することによってダイヤモンド膜を剥離する。

請求項（抜粋）：

基体上に、IVa,Va,VIa族元素の炭化物,窒化物,炭窒化物、およびIb族元素並びにAl2 O3 よりなる群から選択される1種以上からなる下地コーティング層を形成すると共に、該下地コーティング層の表面粗度をRmaxで0.1μm以下とし、600°C以上で下地コーティング層上にダイヤモンド膜を成膜し、引き続き前記基体を冷却することによってダイヤモンド膜を剥離することを特徴とする鏡面を有するダイヤモンド膜の製造方法。

IPC (3件)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  H01L 21/205