特許

J-GLOBAL ID：200903089526964213

磁気記録媒体の表面検査方法とその装置

発明者： 田中 一郎
出願人/特許権者： 日立マクセル株式会社
代理人 (1件)： 折寄 武士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-061714
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233560
出願日： 1995年02月23日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 磁性層表面に検知光を照射し、その反射光をCCDカメラで受光して、表面欠陥の有無を判別する表面検査法において、投光器およびカメラなどの機器配置を工夫して、微小欠陥でも検知できるよう検査精度の向上を図る。【構成】 検知光4とカメラ7への入射光5の光軸中心面で挟む投受光角度θを47〜60°に設定し、欠陥部信号の出力レベルを向上する。磁性層表面における検知光4の反射点Pを基準にして、反射点Pから0.3〜0.6mm偏倚した位置に、入射光5の光軸中心を位置させ、入射光5に含まれるシステムノイズの出力レベルを減少する。

請求項（抜粋）：

ウエブ状の磁気記録媒体1を一定速度で搬送し、その搬送面に沿って配置した投光器11から磁性層表面へ向かって、線状の検知光4を斜めに照射し、磁性層表面からの入射光5を投光器11に対応して設けたCCDラインセンサーカメラ7で受光して表面の欠陥を検出する表面検査方法において、検知光4と入射光5のそれぞれの光軸中心面で挟む投受光角度θを、47〜60°に設定し、磁性層表面における入射光5の光軸中心位置が、検知光4の光軸中心の反射点Pから0.3〜0.6mm偏倚する状態で表面検査することを特徴とする磁気記録媒体の表面検査方法。

IPC (6件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G11B 20/18 501 ,  G11B 20/18 572 ,  G11B 20/18 ,  G11B 20/18 576

FI (6件)：

G01B 11/30 E ,  G01N 21/88 G ,  G11B 20/18 501 D ,  G11B 20/18 572 B ,  G11B 20/18 572 G ,  G11B 20/18 576 C