液晶表示装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-303424
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148683
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】応答速度の大きな液晶表示装置を得るため、Al又はAl合金を用いかつこれらの金属によってひき起される問題点を全て解決する構造を提供する。【構成】AlまたはAl合金をTa,Ti,CrあるいはMo等で挟み込んだ3層構造とする。さらにスルーホール部の周辺及び3層配線の側壁部をシリコン窒化膜で被覆し、水分の浸透を抑える。

請求項（抜粋）：

全ての金属配線層が、AlまたはAl合金を中間層とし、該中間層の上層及び下層金属を同一金属で狭み込んだ三層金属配線であることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343 , H01L 29/784

FI (2件)：

H01L 29/78 311 A , H01L 29/78 311 G

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-253342
特開平4-172325
特開平3-072318

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