特許

J-GLOBAL ID：200903089538592893

感光性樹脂組成物とそれを用いた電子装置の製法

発明者： 前川 康成 ,  三輪 崇夫 ,  岡部 義昭 ,  石田 美奈 ,  平野 利則
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-281941
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146608
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【構成】電磁波の照射により塩基を発生する物質と前記塩基により塩基を発生する物質および前記塩基により極性が変化する高分子化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【効果】増幅反応を利用した、水系溶剤で現像可能なポジ型感光性樹脂組成物は、環境汚染や作業環境に支障を与えることがなく、高感度なレリーフパターンを与える。

請求項（抜粋）：

電磁波の照射により塩基を発生する物質と前記塩基により塩基を発生する物質および前記塩基により極性が変化する高分子化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312