ポジ型フォトレジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-285668
公開番号（公開出願番号）：特開2002-091005
出願日： 2000年09月20日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】半導体デバイスの製造において解像力に優れ、パーティクル、現像欠陥の少ないポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 (A)特定の構造で表される繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(Ia)及び(Ib)のうち少なくともいずれかで表される繰り返し単位と、一般式(II)で表される繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。【化1】式(Ia)中、Yは水素原子、メチル基、シアノ基、塩素原子から選ばれる基を表す。Lは単結合または2価の連結基を表す。R1〜R4はそれぞれ独立に水素原子、SiR'(R'')(R''')、置換基としてSiR'(R'')(R''')を含んでも良いアルキル基を表す。但し、R1〜R4の全てが水素原子になることはない。R'、R''、R'''はそれぞれ独立に直鎖または分岐を有するアルキル基、フェニル基、トリアルキルシリル基、トリアルキルシリルオキシ基を表す。【化2】式(Ib)中、X1は酸素原子、硫黄原子、炭素数1〜3のアルキレン基を表す。L、R1〜R4、R'、R''、R'''は前記と同義である。【化3】式(II)中、Y、Lは前記と同義である。X2は-CO2-、-O-、-CONH-、-CON(R)-から選ばれる基を表す。ここでRは置換されていても良い炭素数1〜10のアルキルまたはアリール基を表す。Aはラクトン構造を含む基、ラクタム構造を含む基、置換基として-OCH3、-OCORa、-OCOORa、-OCONHRa、-OCON(Ra)(Rb)、-NHCORa、-NHCOORa、-NHSO2Ra、-N(R)CORa、-N(R)COORa、-N(R)SO2Ra、-COOH、-COOR、-CONHRa、-CONHSO2Ra、-CON(R)SO2Ra、-CON(Ra)(Rb)、-CNの群から選ばれる少なくとも1つの官能基を含有する飽和脂肪族基を表す。ここでR、Ra、Rbはそれぞれ独立に置換されていても良い炭素数1〜10のアルキルまたはアリール基を表す。

IPC (11件)：

G03F 7/039 601 , C08F 20/28 , C08F 30/08 , C08F 32/08 , C08K 5/00 , C08L 33/14 , C08L 43/04 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (11件)：

G03F 7/039 601 , C08F 20/28 , C08F 30/08 , C08F 32/08 , C08K 5/00 , C08L 33/14 , C08L 43/04 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Fターム (52件)：

2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BF01 , 2H025BF02 , 2H025BF05 , 2H025BF11 , 2H025BF30 , 2H025BG00 , 2H025CB43 , 2H025CC03 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4J002BG071 , 4J002BK001 , 4J002BQ001 , 4J002EB106 , 4J002EU186 , 4J002EU226 , 4J002EV226 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J100AL08P , 4J100AL08R , 4J100AR11Q , 4J100BA02R , 4J100BA05R , 4J100BA11R , 4J100BA15P , 4J100BA15Q , 4J100BA15R , 4J100BA20R , 4J100BA22R , 4J100BA72P , 4J100BA72Q , 4J100BA80P , 4J100BA80Q , 4J100BA82P , 4J100BA82Q , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100BC07R , 4J100BC53R , 4J100CA05 , 4J100DA28 , 4J100DA61

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