特許
J-GLOBAL ID：200903089550105388
光導波路及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265368
公開番号（公開出願番号）：特開平6-088914
出願日： 1992年09月08日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：
【要約】【目的】 量産性に優れ安価でしかも信頼性の高い光導波路を提供する。【構成】 石英ガラス基板1の片面内に凹型の溝2を形成し、ガラス基板1の溝2を形成した面上にSiO2に主成分とするスート3を堆積させ、スート3上に石英ガラス基板4を重ねて密着させながら加熱し、スート3をガラス化して溝2内に充填することによって、光伝搬領域5を形成する。
請求項（抜粋）：
2枚のガラス基板を融着して構成され、これらガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の他方のガラス基板に対向する面内には溝が形成され、この溝内にはSiO2を主成分とするスートをガラス化した光の伝搬領域が形成されていることを特徴とする光導波路。
IPC (2件)：
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