特許

J-GLOBAL ID：200903089555612431

ウエハの研磨終点検出方法および研磨終点検出装置

発明者： 山田 勉 ,  林 則夫
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所 ,  株式会社ダイアインスツルメンツ ,  三菱化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-324415
公開番号（公開出願番号）：特開2000-135673
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 研磨されたウエハの研磨面の状態をより精密に示す指標を用いてCMP研磨の終点を検出する方法の提供。【解決手段】 基板の上に鉄を含有するパ-マロイ層が形成され、更に絶縁層を形成したウエハの前記絶縁層を化学機械研磨して平坦なパ-マロイ層を露出させるCMP研磨において、研磨剤スラリ-廃液中の3価の鉄イオンの含有量を比色法で測定し、その含有量(Ie)が予め入力された最良のCMP研磨がなされた研磨終点の研磨剤スラリ-廃液中の3価の鉄イオンの含有量(Io)の値に達したときをウエハのCMP研磨終点とする。

請求項（抜粋）：

基板の上に鉄を含有するパ-マロイ層が形成され、更に絶縁層を形成したウエハの前記絶縁層を化学機械研磨して平坦なパ-マロイ層を露出させるCMP研磨において、研磨剤スラリ-廃液中の3価の鉄イオンの物理量を測定し、その物理量(Ie)が予め入力された最良のCMP研磨がなされた研磨終点の研磨剤スラリ-廃液中の3価の鉄イオンの物理量(Io)の値に達したときをウエハのCMP研磨終点とすることを特徴とする、研磨終点検出方法。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/04 K ,  H01L 21/304 621 D ,  H01L 21/304 622 S

Fターム (11件)：

3C058AA07 ,  3C058AC02 ,  3C058BA09 ,  3C058BB01 ,  3C058BB09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB04 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17