特許
J-GLOBAL ID：200903089556652356
ワイヤソー及びワークの切断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-337142
公開番号（公開出願番号）：特開平10-175153
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】ワイヤソーにおいて、加工方向に向かい切断深さが深くなるに従って切断されたウエハの板厚が増加する傾向を是正し、板厚の均一な高品質のウエハを切断加工できるようにする。【解決手段】複数の加工用ローラ13,14間にワイヤ15を所定ピッチで巻回し、ワイヤ15を走行させながら、そのワイヤ15に対しワーク20を接触させて切断加工を施す。加工用ローラ13,14間へのワイヤ15の新線送り量をワーク20の切断深さに応じて変更するための制御装置34を設けている。制御装置34は、ワイヤ15の走行速度を調整し、又はワイヤ15の双方向走行における往復時間比率を調整することにより、新線送り量を変更する。
請求項（抜粋）：
複数の加工用ローラ間にワイヤを所定ピッチで巻回し、そのワイヤを走行させながらワイヤに対しワークを接触させて切断加工を施すようにしたワイヤソーにおいて、前記加工用ローラ間へのワイヤの新線送り量を、ワークの切断深さに応じて変更するための制御手段を設けたワイヤソー。
引用特許：
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