プローブ回転機構、および該プローブ回転機構を有する走査型プローブ顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-198500
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014023
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】プローブの向きを変えることによって、凹凸形状の激しい物体や、段差の大きな物体においても高精度で正確な測定が可能となるプローブ回転機構、および該プローブ回転機構を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】プローブの向きを変える回転機構であって、先鋭化した先端を有するプローブと、該プローブを片側に備えたプローブ支持体と、該プローブ支持体を該プローブ支持体の中心軸周りに回転させるためのガイドと、該ガイドを有するプローブ台と、該プローブ支持体を該プローブ支持体の中心軸周りに回転させるための駆動装置とにより、プローブの向きを変えるように構成する。

請求項（抜粋）：

プローブの向きを変える回転機構であって、先鋭化した先端を有するプローブと、該プローブを片側に備えたプローブ支持体と、該プローブ支持体を支持するガイドと、該ガイドに支持された該プローブ支持体を該プローブ支持体の中心軸周りに回転させるための駆動装置と、を有することを特徴とするプローブ回転機構。

IPC (4件)：

G01N 13/10 , G01B 21/00 , G01B 21/30 , G12B 21/02

FI (4件)：

G01N 13/10 A , G01B 21/00 P , G01B 21/30 , G12B 1/00 601 A

Fターム (25件)：

2F069AA54 , 2F069AA60 , 2F069DD19 , 2F069GG02 , 2F069GG06 , 2F069GG07 , 2F069GG15 , 2F069GG35 , 2F069GG39 , 2F069GG52 , 2F069GG56 , 2F069GG62 , 2F069HH01 , 2F069JJ07 , 2F069JJ19 , 2F069JJ25 , 2F069LL03 , 2F069MM04 , 2F069MM11 , 2F069MM17 , 2F069MM21 , 2F069MM24 , 2F069MM32 , 2F069NN12 , 2F069QQ05

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