力学量センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-274530
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123632
出願日： 1992年10月13日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】新規な構造の力学量センサを提供することにある。【構成】基板1上には固定部2,3,4,5が立設され、この固定部2,3,4,5からL字型の梁6,7,8,9が延びている。その梁6,7,8,9の他端には方形の錘10が連結支持されている。そして、このL字型の梁6,7,8,9で形成される面が錘10の可動面となっている。錘10の4辺には棒状の電極11,12,13,14が形成されている。又、基板1上には電極11,12,13,14の間に棒状の電極15,16,17,18が対向するように配置されている。そして、対向電極13,17及び14,18への電圧印加により錘10が励振するとともに、対向電極11,15及び12,16により回転角速度Ωの印加に伴う錘10の動きが検出される。

請求項（抜粋）：