特許
J-GLOBAL ID：200903089581098363
磁気記録媒体用基板および磁気記録媒体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-156660
公開番号（公開出願番号）：特開平5-002747
出願日： 1991年06月27日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】 薄型の磁気記録媒体に用いられる基板において、その両面に形成されているメッキ層を平面度を良好な状態としながら、その厚みが同じとなるように研磨された基板を実現し、スパッタリング工程における熱変形を防止して、低浮上高さの磁気記録媒体を形成可能とする。【構成】 基板の研磨工程において、基板の表面と裏面を研磨する相対速度の比を0.8以下とした。この製造方法により、例えば、通称3.5インチディスク用の基板において、平面度10μm以下、両面のメッキ層の厚さの差(ABR)0.4μm以下、面だれ(ロールオフ)0.1μm以下の基板を実現できた。
請求項（抜粋）：
ディスク状の磁気記録媒体用基板のメッキ層が形成されている表面を上方から上定盤により研磨する相対速度と、これと同様のメッキ層が形成されている該磁気記録媒体用基板の裏面を下方から下定盤により研磨する相対速度との比を0.8以下として該表面および裏面の両面を研磨する研磨工程を有することを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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