特許
J-GLOBAL ID：200903089583553742
薄板移送機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大田 優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-192995
公開番号（公開出願番号）：特開平6-009051
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：
【要約】【目的】薄板移送機において、カートリッジ内の最後の一枚の薄板の有無を検出する精度を高める。【構成】カートリッジ10の中に積み重ねて収納された薄板20を、チャック60で一枚ずつ取り出して次工程に送る薄板移送機において、先端がカートリッジ10の中に進入して上下動可能なロッド30と、ロッド30の先端に取付けられて薄板20を支持する支持台80と、ロッド30の移動範囲の上限位置を検出する第1のセンサー40と、カートリッジ10の上部側方に配置され薄板20の最上端を検出可能な第2のセンサー50とを設け、支持台80の上面に、斜面81と、斜面81を水平方向に横切る溝82を形成する。
請求項（抜粋）：
カートリッジ内に積み重ねて収納された薄板を、一枚ずつチャックで取り出して次工程に送る薄板移送機において、先端がカートリッジの中に進入して上下動可能なロッドと、ロッドの先端に取付けられて薄板を支持する支持台と、ロッドの移動範囲の上限位置を検出する第1のセンサーと、カートリッジ上部の側方に配置され薄板の最上端を検出可能な第2のセンサーとを具え、支持台の上面に、斜面と該斜面をほぼ水平方向に横切る溝を形成したことを特徴とする薄板移送機。
IPC (4件)：
B65G 49/07
, B65H 1/18 310
, B65H 3/08 310
, H01L 21/68
