特許

J-GLOBAL ID：200903089587121170

外観検査方法及び検査装置

発明者： 岩田 裕
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-018990
公開番号（公開出願番号）：特開2001-209798
出願日： 2000年01月27日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】繰り返しパターン部で発生する光の回折による濃淡ムラによる影響を無くして、高精度で信頼性の高い外観検査を実現する。【解決手段】繰り返しパターン部を対象に、撮像画像を平滑化して基準画像を生成し、撮像画像と基準画像を比較することにより、濃淡ムラを排除した急峻な濃淡変化部のみを取り出した画像を抽出し、その抽出画像の明度値を2値化して不良部の有無を判定する。また、2値化処理として、抽出画像から繰り返しパターン領域内の標準偏差を計測し、標準偏差に応じたしきい値を求めて2値化した後、その2値化で繰り返しパターンと判定された画素を真の繰り返しパターン部として、再度標準偏差の計測としきい値を求めて2値化するという処理を採用することで、適切な2値化しきい値を自動的に設定する。

請求項（抜粋）：

繰り返しパターン領域を有する物体の不良を光学的に検査する方法であって、繰り返しパターン領域の撮像画像から不良による濃淡変化を除外して基準画像を生成する処理と、その基準画像と撮像画像とを比較演算することにより急峻な濃淡変化量のみを抽出した画像を得る処理と、その抽出画像の明度値を2値化して不良部の有無を判定する処理を行うことを特徴とする外観検査方法。

IPC (5件)：

G06T 7/00 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01N 21/88 J ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/62 405 A ,  G01B 11/24 F ,  G01B 11/24 K

Fターム (62件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065BB18 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065DD12 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG16 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL03 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR01 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  2G051AA51 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051EC05 ,  2G051ED03 ,  2G051FA10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106CA70 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB16 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CE05 ,  5B057CE06 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DC22 ,  5B057DC33