特許

J-GLOBAL ID：200903089591807176

透明電磁波シールド基板

発明者： 福吉 健蔵 ,  今吉 孝二 ,  宇山 晴夫 ,  吉田 完
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (1件)： 上田 章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-317284
公開番号（公開出願番号）：特開平9-135096
出願日： 1995年11月09日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】 プラスチックフィルムが損傷しない程度の低温下で製造することができ、かつ電磁波シールド効果と可視光線透過率が高く、しかも経時劣化が起こり難い透明電磁波シールド基板を提供すること。【解決手段】 この透明電磁波シールド基板1は、偏光フィルムから成る透明基板10と、この上に順次積層された透明酸化物薄膜21、銀系薄膜22及び透明酸化物薄膜23の三層から成る透明電磁波シールド膜20とでその主要部が構成されている。そして透明酸化物薄膜21及び23は、酸化ガリウムと、銀との固溶域を実質的に持たない元素の酸化物との混合酸化物にて構成されているためスパッタリング法等を利用して低温下で成膜でき、しかも透明酸化物薄膜の耐薬品性と耐水性が著しく改善され銀系薄膜を保護して経時劣化を防止することが可能となる。

請求項（抜粋）：

透明基板上に、順次積層された透明酸化物薄膜と厚さ5〜20nmの銀系薄膜及び透明酸化物薄膜とで構成された電磁波シールド膜を備える透明電磁波シールド基板において、上記電磁波シールド膜の各透明酸化物薄膜が、酸化ガリウムと、銀との固溶域を実質的に持たない元素の酸化物との混合酸化物により構成されていることを特徴とする透明電磁波シールド基板。