質量分析の方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-292041
公開番号（公開出願番号）：特開平10-112281
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】本発明はインターフェースの製造コストの低減を図った質量分析の方法および装置を提供することにある。【解決手段】大気圧下で生成したイオンは第1,第2,第3細孔3,5,7で隔たれた真空室4,6を通り、MS部8へ導かれ質量分析される。第1真空室4は大気圧部と隣接しており、この室を独立に排気する真空ポンプはなく、第2細孔5を有する壁に設けられたバイパス孔26を経て第2真空室6とともに共有のポンプで排気されている。第1真空室4の圧力は数100Pa、第2真空室6の圧力は数10Paとすることができる。第1真空室4においてイオン加速電圧約100Vで充分脱溶媒を達成した上で速度の広がりを抑えることができる。第2真空室6ではイオンは約10Vで加速し速度の広がりをできるだけ低く抑えることができる。

請求項（抜粋）：

大気圧下で試料をイオン化し、低真空室を前記大気圧より低い圧力に設定し、中間真空室を前記低真空室より低い圧力に設定し、高真空室を前記中間真空室より低い圧力に設定し、前記低真空室と前記中間真空室の間に開口を有する開口部材を設け、前記生成した試料イオンを前記低真空室、前記開口及び前記中間真空室を介して前記高真空室に導いて質量分析し、前記開口とは異なる通気部を介して前記低真空室と前記中間真空室を接続し、少なくとも前記試料イオンの分析時は前記通気部を介して前記低真空室を排気することを特徴とする質量分析方法。

IPC (4件)：

H01J 49/24 , G01N 27/62 , G01N 30/72 , H01J 49/26

FI (5件)：

H01J 49/24 , G01N 27/62 G , G01N 27/62 X , G01N 30/72 C , H01J 49/26

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