特許
J-GLOBAL ID：200903089593749491
被処理物の移載装置の制御方法および移載方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-135223
公開番号（公開出願番号）：特開平6-072513
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 設置された被処理物支持体に対し、移載装置の動作パターンを自動的に短時間で適正に調整することができ、高い信頼性が得られる移載装置の制御方法を提供すること、並びに設置された被処理物支持体に対し、常に適正な位置関係を維持して被処理物を移載することのできる移載方法を提供すること。【構成】 板状の被処理物を支持する被処理物支持体21に対し、被処理物を移載する移載装置20の制御方法において、被処理物支持体21に被処理物と同様の位置検出用板T1,T2を配置し、移載装置20を移動させてセンサーSA,SBによって基準位置に対する位置検出用板T1,T2の位置情報を検出し、この位置情報に基づいて移載装置20の動作を制御する。被処理物の移載方法においては、フォークとセンサーアーム45とを具備し、センサーアーム45により位置検出用板T1,T2の位置を検出してその位置情報に基づいて移載装置20の位置を制御して被処理物を移載する。
請求項（抜粋）：
板状の被処理物を支持する被処理物支持体に対し、被処理物を担持してこれを移載する被処理物の移載装置の制御方法において、前記被処理物支持体における所定の支持個所に被処理物と同様の位置検出用板を配置し、移載装置を移動させることにより、当該移載装置に設けられたセンサーによって当該移載装置における基準位置に対する前記位置検出用板の位置情報を検出し、この検出位置情報に基づいて、移載装置の動作を制御することを特徴とする移載装置の制御方法。
IPC (3件)：
B65G 1/137
, B65G 1/04
, H01L 21/68
