特許

J-GLOBAL ID：200903089595217721

静電型アクチュエータ及びその製造方法並びに液滴吐出ヘッド

発明者： 一色 海平
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-169978
公開番号（公開出願番号）：特開2001-347658
出願日： 2000年06月07日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 振動板に所定のギャップを置いて対向させて電極基板を形成し、振動板と電極間に電圧を印加することで、静電力によって振動板を撓ませる静電型アクチュエータにおいて、安価で高密度が可能な静電型アクチュエータ及びその製造方法並びに静電型吐出ヘッドの提供。【解決手段】振動板基板1と電極基板2とを接着剤を用いないで直接接合し、且つ、ギャップを形成するためのシリコン酸化膜11を電極基板2側に設け、振動板基板側の接合面が平面になっている。

請求項（抜粋）：

振動板を形成した振動板基板と、個別電極を形成した電極基板とを絶縁膜となるシリコン酸化膜によってギャップを形成して接合し、前記電極と振動板との間に電圧を印加することで前記振動板が変形する静電型アクチュエータにおいて、前記振動板基板と前記電極基板とを接着剤を用いないで直接接合し、且つ、前記ギャップを形成するためのシリコン酸化膜を前記電極基板側に設け、前記振動板基板側の接合面が平面になっていることを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (5件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00

FI (4件)：

B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (20件)：

2C057AF36 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP26 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP42 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP56 ,  2C057AP59 ,  2C057AP61 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA15