特許

J-GLOBAL ID：200903089600650315

光学素子

発明者： 加藤 日出夫 ,  前原 広
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082500
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275417
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 光学素子周囲の雰囲気を置換容易にして汚染を防止する。【解決手段】 このBOレンズ1の表面に、弗ッ化マグネシウム(MgF2 )膜から成る反射防止膜22が成膜され、更にBOレンズ1の中央部から外周部に向かって、放射状に幅0.1mm、深さはBO素子の段差と同程度の深さ約0.5μmの6本の直線状の溝23が設けられている。また、BOレンズ1上に別途に用意し両面に反射防止膜22が施されたシールド用基板26が被着されている。基板11、26間にはリング状の封着材27が介在され、基板11、26の幅10mmの外周部分において接着がなされている。また、封着材27には得られた密閉空間に対する真空及びガス置換用の開口部28が設けられている。

請求項（抜粋）：

回折格子を形成した面をシールドした回折光学素子であって、面に中心から周辺に連なる溝を設け、該溝を介して気体を排気又は置換することを特徴とする光学素子。

IPC (2件)：

G02B 5/18 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G02B 5/18 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (17件)：

2H049AA04 ,  2H049AA33 ,  2H049AA36 ,  2H049AA37 ,  2H049AA44 ,  2H049AA48 ,  2H049AA55 ,  2H049AA63 ,  2H049AA64 ,  5F046AA11 ,  5F046AA13 ,  5F046AA22 ,  5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CB17 ,  5F046CB23 ,  5F046CB24