特許
J-GLOBAL ID：200903089604736117
形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-015581
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102037
出願日： 1991年02月06日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】被測定物の被測定面の形状を精度良く検出測定することができるとともに、測定速度を速めることができる。【構成】スクロール部材41をX軸テーブル3及び水平回転テーブル5により支持して回転させるとともに、X軸方向に位置制御動作させて、一方向にのみ測定動作可能な形状測定用プローブ17をスクロール部材41の被測定面に接触させ形状誤差を測定する。この時、Y軸コラム12をY軸サーボモータ13により位置制御して、形状測定用プローブ17が常にスクロール部材41の被測定面に対し直角方向、つまり法線方向に対向するように位置制御し、精度の高い形状測定を行い、測定速度を速めることができる。
請求項（抜粋）：
コラム上において被測定物を支持する支持部材と、前記コラムに装設され、前記被測定物の被測定面に接触して形状を測定可能な形状測定用プローブと、前記支持部材及び形状測定用プローブを予め記憶した設定形状データに基づいて動作させて前記被測定面の形状を測定させる被測定物の測定動作指令手段とを備えた形状測定装置において、前記コラムに対し往復駆動機構により往復動作される可動支持体を装設し、該可動支持体に前記形状測定用プローブを装着し、さらに前記形状測定用プローブによる被測定物の測定動作時に該形状測定用プローブの動作方向を被測定面と直交する方向に指向するように、前記可動支持体を予め記憶した位置制御データに基づいて制御するプローブ位置制御手段を設けた形状測定装置。
引用特許：
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