特許
J-GLOBAL ID:200903089605884110
帯状体の表面欠陥検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
矢葺 知之
, 津波古 繁夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-296936
公開番号(公開出願番号):特開2004-132801
出願日: 2002年10月10日
公開日(公表日): 2004年04月30日
要約:
【課題】時間遅延積分型ビデオカメラを用いた表面欠陥検査装置であって、任意の角度で撮像することができる帯状体の表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】帯状体の表面欠陥検査装置は、移動する帯状体1の表面に帯状体1を横切る棒状照明光Iを照射する照射装置10と、帯状体面で反射した照明光Iの反射像を帯状体1の移動速度に画素列のシフト速度が同期して撮像する時間遅延積分型ビデオカメラ20とを備えている。前記ビデオカメラ20はセンサ22の光軸24が帯状体面に対し垂直となるように配置されており、ビデオカメラ20の撮像レンズが帯状体1の長手方向Lに光軸28がシフト可能なシフトレンズ26からなっている。検査条件または照明光の反射角に応じてシフトレンズ26のシフト量δを調整することにより、任意の角度で撮像してもボケのない鮮鋭な画像を得ることができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
移動する帯状体の表面に帯状体を横切る棒状照明光を照射する照射装置と、帯状体面で反射した照明光の反射像を帯状体の移動速度に画素列のシフト速度が同期して撮像する時間遅延積分型ビデオカメラとを備えた帯状体の表面欠陥検査装置において、前記ビデオカメラはセンサの光軸が帯状体面に対し垂直となるように配置されており、ビデオカメラの撮像レンズが帯状体の長手方向に光軸がシフト可能なシフトレンズからなっていることを特徴とする帯状体の表面欠陥検査装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/892 B
, G01B11/30 A
Fターム (26件):
2F065AA49
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065FF64
, 2F065GG03
, 2F065GG16
, 2F065HH13
, 2F065JJ26
, 2F065LL10
, 2F065MM03
, 2F065PP16
, 2G051AA32
, 2G051AA37
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051BA20
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CC17
, 2G051DA01
, 2G051DA06
, 2G051EA17
, 2G051EC01
, 2G051FA10
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