特許

J-GLOBAL ID：200903089607342195

両面研磨機用ワークキャリア及びその製造方法

発明者： 藤井 剛志 ,  山口 幸男 ,  岩隈 隆 ,  谷 泰弘
出願人/特許権者： 株式会社ノリタケカンパニーリミテド ,  株式会社ノリタケスーパーアブレーシブ ,  谷 泰弘
代理人 (1件)： 池田 治幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-365073
公開番号（公開出願番号）：特開2004-195571
出願日： 2002年12月17日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

【課題】極薄手のワークの研磨加工に好適に用いられる、剛性及び耐摩耗性に優れた両面研磨機用ワークキャリア及びその製造方法を提供する。【解決手段】多数の骨材18を含む無電解鍍金液に所定の基板を浸漬して、その基板の表面にその多数の骨材18を含む金属組織20を形成する無電解鍍金工程を含むことから、キャリア10の厚み寸法を可及的に均一に形成できることに加え、両面研磨機による研磨加工に十分に耐え得る剛性及び耐摩耗性を付与できる。すなわち、極薄手のワークの研磨加工に好適に用いられる、剛性及び耐摩耗性に優れたキャリア10及びその製造方法を提供することができる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

両面研磨機による研磨加工に際して、該両面研磨機に備えられた第1定盤と第2定盤との間に薄片状のワークを保持するために用いられる両面研磨機用ワークキャリアであって、 全体に占める体積割合が5%以上70%以下の範囲内である多数の骨材が金属組織により相互に結合して形成されていることを特徴とする両面研磨機用ワークキャリア。

IPC (1件)：

B24B37/04

FI (1件)：

B24B37/04 C

Fターム (7件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058CB07 ,  3C058CB10 ,  3C058DA06