特許

J-GLOBAL ID：200903089610200652

スパッタ電極

発明者： 小田切 耀 ,  徳永 清 ,  山崎 雅史 ,  伊東 孝
出願人/特許権者： 株式会社シンクロン
代理人 (1件)： 臼村 文男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-091821
公開番号（公開出願番号）：特開平5-263224
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【構成】 スパッタ電極11の電極本体13に、パッキング19および銅箔シート17を介して分割したバッキングプレート15a,15b,15cをネジ止め固定する。銅箔シート17は、電極面全体を覆っている。分割された3つのバッキングプレートには、それぞれ個別のターゲット31が固定されている。【効果】 分割したバッキングプレート間からスパッタ電極の冷却水がリークしたり、銅箔シートの介在により冷却水によるターゲットの冷却効果が損なわれることなく、スパッタでき、ターゲットおよびバッキングプレートを分割して取り扱うことが可能となる。よって、ターゲットが大型化しても分割により取扱いが容易となり、また、不均一エロージョンが発生した場合には、部分的にターゲットの交換が可能となる。

請求項（抜粋）：

スパッタ電極面に、バッキングプレートまたは直接ターゲットが固定され、バッキングプレートまたはターゲット下面に冷却水が供給されるスパッタ電極において、スパッタ電極面に水密性熱伝導性フィルムを張設し、該水密性熱伝導性フィルムを介して、複数に分割したバッキングプレートおよび/またはターゲットをスパッタ電極に取り付けたことを特徴とするスパッタ電極。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-298159
  
• 特開平1-263270
  
• 特開平1-298159
  
• 特開平1-263270