特許

J-GLOBAL ID：200903089622899422

1pm未満のスペクトル線幅を有するフッ素分子レーザ

発明者： ウーヴェ スタム ,  セルゲイ ヴィー ゴヴォルコルフ
出願人/特許権者： ラムダ フィジーク アーゲー
代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-506651
公開番号（公開出願番号）：特表2003-503860
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2003年01月28日
要約：

【要約】狭帯域フッ素分子レーザシステムは、発振器及び増幅器を含み、前記発振器は、1pm未満の線幅を有する157nmビームを発生し、前記増幅器は、前記ビームのパワーを、1又は数ワットのような予め決められた以上に増す。前記発振器は、フッ素分子を含むレーザガスとバッファガスとで満たされた放電チャンバと、前記フッ素分子にエネルギーを供給する放電回路に接続された、前記放電チャンバ内の電極と、前記放電チャンバを含み、約157nmの波長を有するレーザビームを発生する共振器とを含む。前記レーザビームの線幅を1pm未満に減少させる線狭化光学系を、前記共振器内及び/又は共振器外に含める。前記増幅器を、同じ又は別個の放電チャンバとしてもよく、前記発振器からのパルスを時間調節し前記増幅器に、前記増幅器の放電電流における最大において達するようにする光学及び/又は電子遅延を使用してもよい。

請求項（抜粋）：

フッ素分子を含むレーザガス及びバッファガスで満たされた放電チャンバと、 前記レーザガスにエネルギーを供給する放電回路に接続された、前記放電チャンバ内の複数の電極と、 約157nmの波長及び1pm未満の線幅を有するレーザビームを発生する、前記放電チャンバ及び線狭化光学系を含む共振器とを具える発振器と、 増幅器とを具える、狭帯域フッ素分子レーザシステムにおいて、 前記発振器によって発生されたレーザビームを、前記ビームのパワーを増すために、前記増幅器を通して方向付けることを特徴とするレーザシステム。

IPC (2件)：

H01S 3/08 ,  H01S 3/223

FI (2件)：

H01S 3/08 ,  H01S 3/223 Z

Fターム (23件)：

5F071AA04 ,  5F071BB01 ,  5F071JJ04 ,  5F071JJ10 ,  5F072AA04 ,  5F072HH02 ,  5F072HH07 ,  5F072HH09 ,  5F072JJ04 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK01 ,  5F072KK03 ,  5F072KK07 ,  5F072KK08 ,  5F072KK09 ,  5F072KK15 ,  5F072KK18 ,  5F072KK30 ,  5F072MM08 ,  5F072MM11 ,  5F072PP10 ,  5F072SS06 ,  5F072YY09