耐熱性樹脂組成物の処理方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-137155
公開番号（公開出願番号）：特開2000-327775
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】耐熱性樹脂組成物のパターン断面のエッジ部がだれることなく、より矩形になるような処理方法を提供する。【解決手段】一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーによって基板上に形成したパターンを、(T±10)°Cで10分間以上熱処理する工程を含有することを特徴とする耐熱性樹脂組成物の処理方法。(ただしTは該ポリマーに含まれる溶媒の1気圧における沸点(°C)である。)【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1から20までの有機基を示す。mは3から100000までの整数、nは0から2までの整数であり、nが2の場合のR3は同じでも異なっていてもよい。p、qは0から4までの整数であり、n+q>0である。)

請求項（抜粋）：

一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーによって基板上に形成したパターンを、(T±10)°Cで10分間以上熱処理する工程を含有することを特徴とする耐熱性樹脂組成物の処理方法。(ただしTは該ポリマーに含まれる溶媒の1気圧における沸点(°C)である。)【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1から20までの有機基を示す。mは3から100000までの整数、nは0から2までの整数であり、nが2の場合のR3は同じでも異なっていてもよい。p、qは0から4までの整数であり、n+q>0である。)

IPC (7件)：

C08G 69/26 , C08G 73/10 , C08J 7/00 301 , C08L 77/06 , C08L 79/08 , G03F 7/11 501 , H01L 21/027

FI (7件)：

C08G 69/26 , C08G 73/10 , C08J 7/00 301 , C08L 77/06 , C08L 79/08 , G03F 7/11 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (60件)：

2H025AA00 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BC13 , 2H025BC87 , 2H025BE00 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4F073AA12 , 4F073BA29 , 4F073BA30 , 4F073BB11 , 4F073GA01 , 4J001DA01 , 4J001DB02 , 4J001DD04 , 4J001DD05 , 4J001DD08 , 4J001EB69 , 4J001EC46 , 4J001EC47 , 4J001EC66 , 4J001EC67 , 4J001EC70 , 4J001FB03 , 4J001FB05 , 4J001FC03 , 4J001FC05 , 4J001GA11 , 4J001JA07 , 4J001JA17 , 4J001JB18 , 4J001JB45 , 4J002BG07X , 4J002BG13X , 4J002CL03W , 4J002EQ036 , 4J002FD200 , 4J002FD206 , 4J002GQ05 , 4J043QB16 , 4J043QB21 , 4J043RA05 , 4J043SA06 , 4J043TA03 , 4J043TA04 , 4J043TA23 , 4J043TA47 , 4J043TA75 , 4J043UB221 , 4J043ZA31 , 4J043ZA46 , 4J043ZB03

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