計測装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-219414
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062010
出願日： 1994年08月22日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】流量の計測を直流ドリフトがなく、また温度補償を行った状態で行うことのできる流量センサーを提供する。【構成】ダイヤモンド薄膜13上に形成された白金薄膜よりなる測温抵抗体12と発熱体11とを有する。そして、発熱体11からのパルス状の加熱に対するダイヤモンド薄膜13の過渡応答特性を測温抵抗体12で検出する。測温抵抗体で検出された過渡応答特性は、CPU107において評価される。また別に流体の温度を測温抵抗体111で検出する。そして、前記過渡応答特性と前記流体の温度とを用いて、流体の温度を補償した流量値を算出する。こうして流体の温度によらない流量値を得ることができる。

請求項（抜粋）：

流体に接すべく配置された薄膜材料と、該薄膜材料にパルス状の加熱を行う手段と、該手段による加熱に従う前記薄膜材料の応答特性を計測する手段と、前記流体の温度に対応した出力を得る手段と、を有することを特徴とする計測装置。

IPC (3件)：

G01F 1/68 , G01K 7/00 321 , G01P 5/12

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-231174
特開平3-283601
特開平3-097201

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