特許

J-GLOBAL ID：200903089638632728

膜厚測定方法及びその装置

発明者： 岡安 裕 ,  長坂 昭吾
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-356284
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156314
出願日： 2001年11月21日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】 簡易な方法により、より精度よく膜厚測定を行うことができる膜厚測定方法を提供する。【解決手段】 白色光を測定対象物(透明薄膜)に照射し、その反射光をカラーCCDカメラで撮像する。撮像されたカラー画像は、画像入力部11により赤色画像、緑色画像、青色画像に分解され、さらに正規化処理部12により最大輝度値が1になるように正規化される。画像間減算処理部13は、正規化された赤色画像と緑色画像と青色画像間で輝度値の減算処理を行い、赤色画像と緑色画像との差分画像などを生成する。膜厚計測部15は、この差分画像に基づいて測定対象物の膜厚を推定する。また、必要に応じて、詳細膜厚計測部16は当該推定膜厚を参照しながら、正規化された赤色画像等から測定対象物の膜厚を算出する。

請求項（抜粋）：

複数の波長を含む光を測定対象とする膜に照射し、当該膜で反射して戻ってきた光を受光して各波長毎の受光強度の分布を取得した後、各波長の光の受光強度分布どうしの差分を得て、当該差分に基づいて前記膜の膜厚を判定することを特徴とする膜厚測定方法。

FI (2件)：

G01B 11/06 Z ,  G01B 11/06 H

Fターム (15件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065CC31 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG03 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42