特許
J-GLOBAL ID：200903089640863427
モニターバーンイン装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇井 正一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328568
公開番号（公開出願番号）：特開平7-191087
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明はモニターバーンイン装置に関し、従来の量産用バーンインボードの使用を可能としたモニターバーンイン装置を実現することを目的とする。【構成】 複数個の半導体装置を搭載し、該半導体装置へ電源・信号を供給する電源・信号供給用端子群と、テスト中に該半導体装置の特性を測定するための出力信号用端子群とを有するモニターバーンインボードを用いて高温テストを行なうモニターバーンイン装置において、上記モニターバーンインボード20の電源・信号供給用端子群21と接続するコネクタ16の端子配列を電源・信号供給用端子群19のみを有する量産用バーンインボード18の端子群と同一配列、同一ピッチで同一位置に配置するように構成する。
請求項（抜粋）：
複数個の半導体装置を搭載し、該半導体装置へ電源・信号を供給する電源・信号供給用端子群と、テスト中に該半導体装置の特性を測定するための出力信号用端子群とを有するモニターバーンインボードを用いて高温テストを行なうモニターバーンイン装置において、上記モニターバーンインボード(20)の電源・信号供給用端子群(21)と接続するコネクタ(16)の端子配列を、電源・信号供給用端子群(19)のみを有する量産用バーンインボード(18)の端子群と同一配列、同一ピッチで同一位置に配置したことを特徴とするモニターバーンイン装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 31/28
, H01L 21/66
