特許
J-GLOBAL ID：200903089648898599
静電吸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046642
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045214
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】静電吸着装置を用いて、試料を試料台に固定させる場合、固定の状況を正確に検出し、微細加工や寸法計測の信頼性を向上させることを目的とする。【構成】本発明の回路構成は、電流を検出し電圧変換する抵抗6,検出した電圧を増幅させる増幅器7,しきい値電圧と比較するための比較器8,吸着の状況を検出するパルス幅検出器10等により構成される。【効果】静電吸着装置を用いて、試料と試料台の固定を行う際、試料に定常的に流れる電流が小さく、その電流の検出が困難な場合でも、吸着の状況を正確に検出することができる。
請求項（抜粋）：
試料台と該試料台に置かれた試料間に電圧を印加することにより両者間に発生する静電吸着力を応用して試料を試料台上に固定する静電吸着装置に於いて、電圧を印加したとき両者間に形成される静電容量に流れる電流の波形の形状から試料の吸着状態を判断する機能を備えたことを特徴とする静電吸着装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B23Q 3/15
, H01L 21/68
, H02N 13/00
