特許

J-GLOBAL ID：200903089650859967

基板収納容器、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体

発明者： 荒井 英人
出願人/特許権者： HOYA株式会社
代理人 (1件)： 横沢 志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-345273
公開番号（公開出願番号）：特開2007-145398
出願日： 2005年11月30日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

【課題】広い作業スペースを必要とせず、表面を汚すことなく、また、表面を傷つけることなく、大型基板の出し入れ作業を行うことのできる基板収納容器を提案すること。【解決手段】マスクブランク収納体1は、基板収納容器10にマスクブランク50が密閉状態で収納保持された構成となっている。基板収納容器10は、外側容器20に内側容器30が引き出し可能に収納され、内側容器30の内部には、外周端面が保持された状態で大型サイズのマスクブランク50が収納されている。内側容器30を外側容器20から引き出し、内側容器30の内側容器蓋32を外すと、マスクブランク50の裏面51fが露出する。吸着盤などの治具を用いてマスクブランク50を内側容器本体31から取り出して所定の場所に移すことができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

外側容器と、 当該外側容器に対して引き出し可能な状態で収納されている引き出し式内側容器と、 当該引き出し式内側容器の内部に形成された基板収納部とを有していることを特徴とする基板収納容器。

IPC (5件)：

B65D 85/86 ,  H01L 21/673 ,  B65D 77/04 ,  B65D 51/26 ,  G03F 1/14

FI (5件)：

B65D85/38 K ,  H01L21/68 T ,  B65D77/04 C ,  B65D51/26 ,  G03F1/14 M

Fターム (64件)：

2H095BE12 ,  3E067AA12 ,  3E067AB37 ,  3E067AC01 ,  3E067BA05B ,  3E067BA05C ,  3E067BB14B ,  3E067BB14C ,  3E067BC06B ,  3E067BC06C ,  3E067BC07B ,  3E067EA17 ,  3E067EB17 ,  3E067EC08 ,  3E067ED08 ,  3E067FA04 ,  3E067GD03 ,  3E084AA05 ,  3E084AA14 ,  3E084AA24 ,  3E084BA01 ,  3E084EA01 ,  3E084EA04 ,  3E084EB03 ,  3E084EC03 ,  3E084FD02 ,  3E084GA08 ,  3E084GB12 ,  3E084HB01 ,  3E084HC03 ,  3E084HD04 ,  3E084LA14 ,  3E096AA01 ,  3E096AA13 ,  3E096BA20 ,  3E096BA24 ,  3E096BB05 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA04 ,  3E096DA08 ,  3E096DA17 ,  3E096DA30 ,  3E096DB01 ,  3E096EA02X ,  3E096EA06Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA09 ,  3E096FA16 ,  3E096FA19 ,  3E096FA22 ,  3E096FA27 ,  3E096GA01 ,  3E096GA04 ,  3E096GA07 ,  5F031CA05 ,  5F031DA12 ,  5F031DA19 ,  5F031EA02 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA18 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 大型精密シート状(半)製品用密封容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-216396   出願人：有限会社ネットプラスチック, 呉羽化学工業株式会社