特許

J-GLOBAL ID：200903089651654242

基板処理装置及びその隣接処理槽への飛沫の浸入防止方法

発明者： 佐野 靖 ,  菊池 廣
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-334747
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156035
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 隣接する処理槽間において飛沫の入り込みによる各処理液の混合を防止することができる基板処理装置を提供すること。【解決手段】 搬送口20を有する隔壁2を隔てて連設された処理槽3,4を備えており、搬送口20を通じて各処理槽3,4に基板Bを搬送して処理を行う基板処理装置である。搬送口20に基板Bの幅よりも広い幅に亘って液体を帯状に流出する流出手段6を設けた。

請求項（抜粋）：

搬送口を有する隔壁を隔てて連設された複数の処理槽を備えており、前記搬送口を通じて前記各処理槽内に基板を搬送して該基板の処理を行う基板処理装置において、前記搬送口に前記基板の幅よりも広い幅に亘って液体を帯状に流出させる流出手段を配設したことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 648 ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26

FI (3件)：

H01L 21/304 648 Z ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 Z

Fターム (19件)：

4D075AC12 ,  4D075AC14 ,  4D075AC84 ,  4D075AC86 ,  4D075AC88 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DC19 ,  4D075DC22 ,  4D075EA05 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA07 ,  4F041BA34 ,  4F041BA59 ,  4F041CA04 ,  4F041CA16 ,  4F041CA22