リッジ型光導波路の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横井幸喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-130012
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317718
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】リッジ型光導波路を効率よく製造する。【構成】基板上に高屈折率層を形成した材料1の表面に、所定の間隔を有する2本の溝3,3を切断具2で切削して、リッジ4を形成する。【効果】機械的な切削を行なうことにより、形状精度の優れたリッジを基板上に効率よく形成でき、作業効率が飛躍的に向上する。

請求項（抜粋）：

基板上に高屈折率層を形成し、この高屈折率層の表面に、互いに所定の間隔を有する2本の溝を切断具で切削して、基板上にリッジを形成することを特徴とするリッジ型光導波路の製造方法

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