特許

J-GLOBAL ID：200903089653750699

凝縮トラップ

発明者： 米倉 正浩 ,  沢田 弘幸
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-013314
公開番号（公開出願番号）：特開平9-209934
出願日： 1996年01月29日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】 有機溶剤系蒸気の回収を短時間且つ効率的に行い、しかも真空ポンプのオイルの劣化を防止し真空ポンプを保護する凝縮トラップを提供する。【解決手段】 本発明の凝縮トラップ20は、冷媒を収容する有底筒状の内槽21と、該内槽21の外周に多段に配された傘型伝熱フィン23...と、それらを収容する外槽22と、少なくとも内槽21と外槽22の間の空間部22bの開口を気密に塞ぎ、かつ該空間部22bに先端を位置させて設けられた被処理蒸気の導入管路26,61および排気管路62が接続された蓋体21aとを備えたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

被処理ガスに含まれる凝縮成分を凝縮捕集する凝縮トラップであって、冷媒を収容する有底筒状の内槽と、該内槽の外周に多段に配された傘型伝熱フィンと、それらを収容する外槽と、少なくとも内槽と外槽の間の空間部の開口を気密に塞ぎ、かつ該空間部に先端を位置させて設けられた被処理蒸気の導入管路および排気管路が接続された蓋体とを備えたことを特徴とする凝縮トラップ。

IPC (2件)：

F04B 37/16 ,  B01D 8/00

FI (2件)：

F04B 37/16 C ,  B01D 8/00 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭58-087277
  
• 半導体化学気相成長システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-331422   出願人：株式会社東芝, 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社

審査官引用 (2件)

• 特開昭58-087277
  
• 半導体化学気相成長システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-331422   出願人：株式会社東芝, 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社