特許
J-GLOBAL ID:200903089655120714

液滴吐出用回路基板及びインクジェット記録ヘッド

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-023413
公開番号(公開出願番号):特開2002-225289
出願日: 2001年01月31日
公開日(公表日): 2002年08月14日
要約:
【要約】【課題】厚いグレーズ層が不要で、信頼性に優れた長尺形状の液滴吐出用回路基板とインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】液滴を吐出するための回路素子4を表面に形成するための液滴吐出用回路基板1であって、金属不純物量が100ppm以下、最大気孔径が2μm以下、Si/C比が0.95〜1.05の炭化珪素結晶体からなることを特徴とし、特に前記炭化珪素結晶体中の炭化珪素がβ型結晶であり、かつ該炭化珪素結晶体の前記回路素子4形成面の平均粒子径Sに対する前記回路素子4形成面に垂直な面の平均粒子径Tの比S/Tが10以上であることが好ましい。
請求項(抜粋):
液滴を吐出するための回路素子を表面に形成するための液滴吐出用回路基板であって、金属不純物量が100ppm以下、最大気孔径が2μm以下、Si/C比が0.95〜1.05の炭化珪素結晶体からなることを特徴とする液滴吐出用回路基板。
IPC (3件):
B41J 2/16 ,  B41J 2/05 ,  H05K 1/03 610
FI (3件):
H05K 1/03 610 D ,  B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 B
Fターム (10件):
2C057AF53 ,  2C057AF66 ,  2C057AF70 ,  2C057AF93 ,  2C057AG91 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AQ10 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13

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