特許
J-GLOBAL ID：200903089660674930

静電容量型圧力センサ

発明者：
田村 学

田村 学 について


出願人/特許権者：
アルプス電気株式会社

アルプス電気株式会社 について


代理人 (2件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-138397
公開番号（公開出願番号）：特開2005-321257
出願日： 2004年05月07日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：
【課題】 低圧から高圧までの広い圧力範囲にわたって容量変化を高感度で検出できる静電容量型圧力センサの提供。【解決手段】 圧力によって弾性変形するダイヤフラムからなる可動電極3が形成された一方の基板2と、固定電極4が形成された他方の基板5とが可動電極3と固定電極4の間に設けられたギャップ6を介して対向配置され、可動電極3と固定電極4との間の静電容量の変化を検出する静電容量型圧力センサであって、固定電極4は、該固定電極4の中心部におけるギャップ6が、固定電極4の周縁部におけるギャップ6より狭くなるような形状とされ、固定電極4及び/又は可動電極3のギャップ側の表面を覆う絶縁膜12が形成された静電容量型圧力センサ1。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧力によって弾性変形するダイヤフラムからなる可動電極が形成された一方の基板と、固定電極が形成された他方の基板とが前記可動電極と固定電極の間に設けられたギャップを介して対向配置され、前記可動電極と固定電極との間の静電容量の変化を検出する静電容量型圧力センサであって、 前記固定電極は、該固定電極の中心部における前記ギャップが、前記固定電極の周縁部における前記ギャップより狭くなるような形状とされ、 前記固定電極及び/又は前記可動電極のギャップ側の表面を覆う絶縁膜が形成されたことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L9/00 ,  H01L29/84
FI (2件)：
G01L9/00 305G ,  H01L29/84 Z
Fターム (23件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF07 ,  2F055GG11 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA11 ,  4M112CA14 ,  4M112DA02 ,  4M112DA04 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112FA01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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