特許
J-GLOBAL ID：200903089668499020
走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-145141
公開番号（公開出願番号）：特開平10-334844
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 試料に電圧を印加して電子ビームを減速させる場合でも、観察像の倍率の誤差が生じない走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】 制御回路24は各加速電圧と対物レンズの励磁強度と試料印加電圧の組み合わせに応じた補正信号を予め記憶しておき、供給される3種の信号に基づいて記憶してある組み合わせの補正信号を読み出し、この補正信号に基づいて走査電源21を制御する。走査電源21では、設定された倍率に応じた振幅の走査信号に対して、制御回路24から供給された補正信号によりその振幅を補正する。この結果、設定倍率に応じた振幅の走査信号により電子ビームを走査すると、試料への電圧印加により、倍率に応じた試料の領域よりも広い領域を電子ビームが走査することになる場合、走査信号の振幅は補正信号により小さくされる。
請求項（抜粋）：
電子銃からの電子ビームを試料上に細く集束すると共に、試料上の電子ビームの照射位置を2次元的に走査し、試料への電子ビームの照射にともなって得られた信号に基づき、試料の走査像を得るようにした走査電子顕微鏡において、試料に電圧を印加すると共に、電子ビームの走査のための走査信号の振幅を試料への印加電圧に応じて変化させるように構成した走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/147 B
, H01J 37/28 B
