マイクロバルブ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022442
公開番号（公開出願番号）：特開平7-229579
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】この発明は、構成および制御性が単純化できるようにした、インジェクタ等として信頼性の高いマイクロバルブ装置を提供することを目的とする。【構成】支持層11、中間層12、被覆層13の3層構造でなり、中間層12で閉鎖部材16、ダイヤフラム17、およびシート部材18を構成し、被覆層13に形成したスペース室15内に設定する。ダイヤフラム17は支持層11と被覆層13との間で挟持し、スペース室15に入口接続部19から圧力流体を入力し、被覆層13のシート部材18に対面する面に対向して流体出口22を形成するもので、この流体出口22の周囲にシート部材18のシール部181 が接触される。そして、支持層11の閉鎖部材16との対向面に凹室20を形成し、この凹室20と流体出口22との間が連通口23で連通される。ここで、入力流体圧が設定されるシート部材18の加圧面Aが、その対面する加圧面Bよりも大きな面積で構成される。

請求項（抜粋）：

一方の面の外周部がダイヤフラム構造によって支えられ、外部から与えられる電気的な作動力によって前記一方の面方向もしくはそれと反対の他方の面方向に変位されるように保持された閉鎖部材と、この閉鎖部材の前記ダイヤフラムと異なる他方の面に一体的に設けられ、前記閉鎖部材の外周に延長する板部材によって構成されたシート部材と、前記閉鎖部材の前記ダイヤフラムが設定される面に対応して形成されたギャップ室と、前記シート部材に対向する面に形成され、前記閉鎖部材の面方向の変位に伴って前記シート部材で選択的に閉じられる流体出口通路と、この流体出口通路部分と前記ギャップ室とを連通する連通路と、前記閉鎖部材の周囲で、前記ダイヤフラム部およびシート部材によって挟まれた領域に形成される環状スペースと、この環状スペースに開口された圧力流体の入口接続部とを具備し、前記入力流体圧力が作用する前記環状スペースで、前記シート部材に対して前記流体出口通路を閉じる第1の方向に向けて作用する圧力作用面積と、同じく前記ダイヤフラム部で前記第1の方向と逆の第2の方向に向けて作用する圧力作用面積とが異なるように設定されることを特徴とするマイクロバルブ装置。

前のページに戻る