特許
J-GLOBAL ID：200903089668720540
走査型プローブ顕微鏡における移動テーブル装置の駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-073218
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289170
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】試料を目的位置まで高速に移動できるようにすること。【構成】筒状若しくは棒状の圧電素子を植立させて配設し、この圧電素子上に板状の載物台を固定して配し、この載物台上に板状の試料台を移動可能に載置して配設し、試料台1上に試料を保持させることにより、走査領域下に試料を保持し、圧電素子3の変位により載物台2を急激に変位させて当該載物台上の試料台を移動させ、試料の位置を変えるようにした移動ステージ装置において、載物台に急激な変位を与える際、載物台を高周波振動させるか、または、載物台を急激に下降変位させるように制御することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡における移動テーブル装置の駆動方法。
請求項（抜粋）：
筒状若しくは棒状の圧電素子を植立させて配設し、この圧電素子上に板状の載物台を固定して配し、この載物台上に板状の試料台を移動可能に載置して配設し、試料台上に試料を保持させることにより、走査領域下に試料を保持し、圧電素子の変位により載物台を急激に変位させて当該載物台上の試料台を移動させ、試料の位置を変えるようにした移動ステージ装置において、載物台に急激な変位を与える際、載物台を高周波振動させるか、または、載物台を急激に下降変位させるように制御することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡における移動テーブル装置の駆動方法。
IPC (3件)：
G12B 5/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
