特許

J-GLOBAL ID：200903089669145418

流体振動検出装置

発明者： 工藤 高裕 ,  鶴岡 亨彦 ,  鴻巣 直広
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-091820
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264301
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 外部振動が加えられても、圧電膜にノイズが発生しないようにして出力信号のS/N比を高める。【構成】 上下のハウジング15,27により挾圧される外周部を除く圧電膜21の両表面に電極22〜24を形成することにより、外部振動によるハウジング15,27の慣性力が挾圧部を押圧しても挾圧部の圧電膜21に発生した電圧は電極22〜24に集められることがない。それにより、外部振動によるノイズの出力が少なくなりS/N比が向上する。

請求項（抜粋）：

膜状をした圧電体の両面に金属薄膜からなる電極を形成したダイアフラムの外周部を内側に凹部が形成された1対のハウジングにより両側から挾圧・封止するとともに、ハウジング内側の凹部によりダイアフラム両面にそれぞれ圧力導入室を形成し、さらに両圧力導入室にそれぞれ流体圧を導き、両流体の差圧の変動によりダイアフラムが変位・湾曲して圧電体に発生する電圧信号を電極を介して取り出す流体振動検出装置において、ハウジングにより挾圧される外周部を除いた膜状圧電体の両表面に電極を形成したことを特徴とする流体振動検出装置。

IPC (4件)：

G01F 1/20 ,  G01F 1/32 ,  G01F 15/16 ,  G01L 9/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-197283
  
• 特開平3-036975
  
• 特開平3-173378
  
• 特開昭61-214785