特許
J-GLOBAL ID：200903089673432804
導電性を有する多層反射防止膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039969
公開番号（公開出願番号）：特開平6-316442
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【構成】ガラス基板側からλo /4の第1層膜、λ0 /4の第2層膜を順次積層した多層反射防止膜において、前記第2層膜は高屈折率膜と低屈折率膜の組合わせからなる積層膜であり、かつ、ガラス基板側から最も外側の膜は導電性を有する膜である導電性を有する多層反射防止膜。【効果】透過率が高く、生産性の高い常圧CVD法で製膜可能であり、タッチパネルなどに有用である。
請求項（抜粋）：
ガラス基板側からλo /4の第1層膜、λ0 /4の第2層膜を順次積層した多層反射防止膜において、前記第2層膜は高屈折率膜と低屈折率膜の組合わせからなる積層膜であり、かつ、ガラス基板側から最も外側の膜は導電性を有する膜であることを特徴とする導電性を有する多層反射防止膜。
IPC (2件)：
引用特許：
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