特許
J-GLOBAL ID：200903089677034838
チャック装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-180861
公開番号（公開出願番号）：特開平9-008099
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 脆い材料であるワークの破損・飛散をなくしたチャック装置を提供する。ワークをスムーズに把持・移し替え可能なチャック装置を提供する。【構成】 開閉弁26を開けコンプレッサ25からエアをエアチューブ24に供給する。エアチューブ24を膨らませ、板片23A・23B先端を開いておく。ワークテーブル11を上昇させて、板片の間にワーク13を持ってくる。ここで、開閉弁26を閉じる。その結果、板片23A・23Bがワーク13をその間に把持する。よって、ワークを適切な力で挟むことが可能となる。さらに、このワークの把持作業を自動化することが可能となる。
請求項（抜粋）：
対向して配され、互いに接近または離隔する方向に付勢されてその間にワークを挟むことができる一対の板片と、流体供給源と、一対の板片の間に挟まれて配設され、流体供給源から供給された流体により膨張・収縮して一対の板片同士を接近または離隔させる方向に付勢する膨縮手段と、を備えたチャック装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B25J 15/08 N
