電熱器

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：柏木明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-268056
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100860
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 (100)面と〈110〉方向とを有するシリコン基板上に薄膜絶縁体層を形成し、この薄膜絶縁体層上に導電体とこの導電体の端部に接続されたボンディング用のパッドとを形成し、シリコン基板を異方性エッチングして導電体が形成された部分の薄膜絶縁体層の下側に窪みを形成した電熱器において、異方性エッチング時のアンダーカットにより空洞部とならない位置にパッドを形成し、ボンディング時の圧力でパッドが破壊されて断線することを防止する。【解決手段】導電体3,4を〈110〉方向に対して直角又は平行以外の方向に延出させて設置し、パッド3a,4aを、窪み6の開口部6aの〈110〉方向に平行な辺の延長線よりも外側であって、かつ、窪み6の開口部6aの〈110〉方向に平行でない辺からは〈110〉方向に対する45°の方向に窪み6の深さ寸法とほぼ同じ寸法離れた位置よりも外側に設けた。

請求項（抜粋）：

(100)面と〈110〉方向とを有するシリコン基板の表面に形成された薄膜絶縁体層と、この薄膜絶縁体層の上に形成された導電体及びこの導電体の端部に接続されたボンディング用のパッドと、前記導電体が形成された部分の前記薄膜絶縁体層の下側に前記シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成された窪みとを有する電熱器において、前記導電体を〈110〉方向に対して直角又は平行以外の方向に延出させて設置し、前記パッドを、前記窪みの開口部の〈110〉方向に平行な辺の延長線よりも外側であって、かつ、前記窪みの開口部の〈110〉方向に平行でない辺からは〈110〉方向に対する45°の方向に前記窪みの深さ寸法とほぼ同じ寸法離れた位置よりも外側に設けたことを特徴とする電熱器。

IPC (4件)：

H01L 21/60 301 , G01F 1/68 , G01N 27/18 , H01L 21/306

FI (4件)：

H01L 21/60 301 P , G01F 1/68 , G01N 27/18 , H01L 21/306 B

Fターム (15件)：

2F035EA04 , 2F035EA08 , 2G060AA01 , 2G060AE19 , 2G060AE40 , 2G060AF07 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060BA05 , 2G060BB02 , 2G060BC01 , 2G060BD08 , 5F043AA02 , 5F043GG10 , 5F044EE02

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-053733
特開昭61-053733

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