特許
J-GLOBAL ID：200903089681600260
形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-217886
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066509
出願日： 1992年08月17日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：
【要約】【目的】 高精度の走査、測定、試料の傾きやうねりの補正、測定の再現性の確保を行うことができる形状測定装置を提供すること。【構成】 XY粗動機構10にZ軸粗動機構11が固定され、その上に6軸の微動機構12が固定され、その上に試料2が載置される。XY粗動機構10とZ軸粗動機構11により試料2の測定領域がトンネル顕微鏡の探針5とトンネル電流が発生する間隙で対向せしめられ、微動機構12により当該領域の走査およびこの走査中、トンネル電流を一定に保持するZ軸微動が実行される。このZ軸微動が形状測定データとなる。
請求項（抜粋）：
試料表面を走査し、この走査の間に当該試料表面と、これに微小間隙をもって近接する探針との間に生じる現象を用いて当該試料表面の形状を測定する形状測定装置において、ベースに固定された粗動機構と、この粗動機構上に設置され前記試料を載置するとともに少なくとも走査軸に関する4軸の変位を行う微動機構と、この微動機構の変位又は前記粗動機構と前記微動機構との合成変位を測定する変位測定手段と、前記微動機構の目標変位を出力する目標変位発生手段と、この目標変位発生手段から出力される目標変位および前記変位測定手段により測定された変位に基づいて前記微動機構の変位を制御する変位制御手段とを設けたことを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
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