特許

J-GLOBAL ID：200903089683068124

ばねおよびその製造方法

発明者： 羽賀 剛
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-265729
公開番号（公開出願番号）：特開2003-074611
出願日： 2001年09月03日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】 コンタクトプローブとして用いたときに、より大きなばね荷重で押し当てることのできるばねおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 ばねは、炭化珪素および窒化珪素のうち少なくとも一方を含む材料からなる。好ましくは、一定の平面的パターンに厚みをもたせた形状である。。さらに好ましくは、表面が被覆金属で被覆されている。さらに好ましくは、被覆金属は、Au、Pd、PtまたはRhを含む金属である。あるいは、被覆金属の代わりにカーボンで被覆してもよい。このばねは、所望の珪素系材料の基板21上に所望のパターンの金属層としてたとえばアルミニウム被膜27を形成して、この金属層をマスクに基板21をエッチングした後に、金属層を除去することで製造できる。

請求項（抜粋）：

炭化珪素および窒化珪素のうち少なくとも一方を含む材料からなるばね。

IPC (2件)：

F16F 1/02 ,  G01R 1/067

FI (3件)：

F16F 1/02 A ,  F16F 1/02 B ,  G01R 1/067 C

Fターム (13件)：

2G011AA02 ,  2G011AB01 ,  2G011AC14 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  3J059AA03 ,  3J059AC05 ,  3J059AD04 ,  3J059BA19 ,  3J059BC20 ,  3J059EA08 ,  3J059EA20 ,  3J059GA50